高精度空氣靜壓導軌研制

摘要： 為了研制一種適用于高精度加工的空氣靜壓導軌，采用閉式結構保證導軌精度和剛度，通過構建空氣靜壓導軌結構流固耦合仿真模型，分析導軌零部件在流場中的受力形變以校核零件強度，建立偏轉精度預測模型，在流場空間變化和零件受力變形相互疊加情況下考察導軌精度變化。通過仿真確定零件、部件形變量分別在0.31、24μm以內(nèi)，導軌結構滿足強度要求；利用電感測微儀對空氣靜壓導軌進行直線度測量，得到導軌... （共7頁）