基于CBDC優(yōu)化超聲輔助水下激光切割單晶硅的工藝

摘要： 為了對超聲輔助水下納秒激光切割工藝進(jìn)行快速的優(yōu)化，通過分析空化氣泡動力學(xué)特性(CBDC)對工藝效果的影響，采用數(shù)值仿真分析、正交試驗和高速攝像方法進(jìn)行了理論分析和實驗驗證，得到了超聲輔助水下激光切割工藝的優(yōu)化參數(shù)，并驗證了CBDC是影響切割工藝的主要因素。結(jié)果表明，隨著空化氣泡對激光束的干擾程度增加，切槽深度降低速度增加；隨著切槽深寬比的增加，空化氣泡脈動沖擊對切槽底部產(chǎn)生的等... （共9頁）