基于四波橫向剪切干涉的表面形貌測量方法

摘要： 為了解決傳統(tǒng)四波橫向剪切干涉測量系統(tǒng)中特定分光器件存在的加工難度高、光譜適用范圍受限等問題，利用空間光調(diào)制器替代分光光柵將入射光分為4束橫向剪切相干子波，通過靈活調(diào)整光柵的折射率來調(diào)制子波衍射效率以適應(yīng)照明光源，再根據(jù)子波兩兩干涉效應(yīng)重建出反映樣品折射率和高度信息的光程差分布，即可實(shí)現(xiàn)寬光譜大尺寸范圍內(nèi)的表面形貌精確測量；結(jié)合傅里葉變換法研究了入射光不同波長對光程差重建精度的影... （共7頁）