電子致放氣測試裝置的研究

摘要： 材料表面吸附的氣體分子在電子轟擊作用下，會加速釋放到真空系統(tǒng)中。為了測試在電子轟擊下的材料放氣特性，研制了一套電子致放氣的測試裝置。電子束發(fā)生器作為重要的組成部件，具有許多可調參數，這些參數會在一定程度上影響輸出的電子束質量，進而影響電子致放氣測試結果。文章首先通過實驗測量了電子束斑和束流的影響因素，結果表明，聚焦電壓和柵極電壓對束斑的尺寸有直接的影響，而能量電壓對電子束斑直徑... （共8頁）