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基于模糊控制原理的電容薄膜真空計數據優(yōu)化算法研究

真空科學與技術學報 頁數: 7 2023-11-17
摘要: 電容薄膜真空計廣泛應用于中、低真空的測量,為了提高電容薄膜真空計的測量準確性,將算法應用于電容式薄膜壓力計的數據處理中。分段擬合方法可以根據每個數據段上的數據特性,使每個數據段上的誤差數據曲線擬合得更加準確。然而,這種方法會在邊界點處出現數據點跳躍間斷的問題,這對實際使用有很大影響。文章設計了一種基于模糊控制原理的數據處理算法,以消除氣壓測量值在分界點處的跳躍間斷問題。經過模糊... (共7頁)

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